上海华力微电子取得防降温保护装置专利，防止腔体温度急剧下降影响生产效率

金融界2024年12月20日消息，国家知识产权局信息显示，上海华力微电子有限公司取得一项名为“防降温保护装置”的专利，授权公告号CN 222167480 U，申请日期为2024年1月。

专利摘要显示，本实用新型涉及光刻技术领域，尤其涉及一种防降温保护装置，包括控制器主体，所述控制器主体包括操作部件及控制部件，所述操作部件与所述控制部件的输入端连接，所述控制部件设置有温度信号输出端口，所述温度信号输出端口与一刻蚀机台控制总板上的温度控制电路板的温度信号输入端口可拆卸地连接，通过所述操作部件能够驱使所述控制部件向所述温度控制电路板发送温度控制信号。当刻蚀机台突发故障需下电更换硬件时，可利用控制器主体临时代替控制总板发送指令以使原有加热系统进行工作，进而对腔体进行供电保温，从而防止腔体温度在短时间内急剧下降，以避免影响生产效率。在硬件更换完成后再切换回控制总板进行控制，使整机控制信号不受影响。

来源：金融界