上海微电子申请一种气体含量控制装置专利，解决了气体用量大等问题

金融界2024年12月21日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司申请一项名为“一种气体含量控制装置”的专利，公开号 CN 119153354 A，申请日期为 2023年6月。

专利摘要显示，本发明提 供一种气体含量控制 装置，包括：反应腔和 第一匀流腔，反应腔包 括上下相互隔离设置 的上腔体和下腔体第一匀流腔用于将惰性气体通入上腔体内；第一匀流腔包括沿进 气方向依次布置的第一进气腔体、进气匀化板、第二进气腔体 和出气面板，进气匀化板具有多个进气孔，且靠近进气接口的 进气孔的横截面积小于远离进气接口的进气孔的横截面积，出 气面板具有多个第一出气口，各所述第一出气口通过所述出气 面板与所述上腔体的内壁隔离开来。采用本发明提供的气体含 量控制装置，解决了气体用量大、吹扫不均匀以及腔体内部容 易发生湍流等问题。

来源：金融界