上海微电子申请减振装置专利，可提高光刻机减振架构动态稳定性

金融界2025年1月28日消息，国家知识产权局信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司申请一项名为“减振装置、工件台系统及光刻机设备”的专利，公开号CN 119356034 A，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本发明提供一种减振装置、工件台系统及光刻机设备；减振装置包括内部框架、减振器、外部框架、平衡质量块和底部框架；内部框架上用于设置掩模台、物镜单元和工件台平台，工件台平台支撑工件台微动部分；减振器上设置内部框架；外部框架上设置减振器，还用于设置照明单元，且外部框架用于设置于地基上；底部框架用于设置于地基上；底部框架上设置平衡质量块；平衡质量块上用于设置工件台粗动部分。如此配置，可提高光刻机减振架构的动态稳定性，并降低减振器的承载要求，降低减振器的设计难度和成本。

天眼查资料显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司，成立于2002年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本26612.41万人民币，实缴资本7451.0693万人民币。通过天眼查大数据分析，上海微电子装备（集团）股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目140次，知识产权方面有商标信息31条，专利信息2953条，此外企业还拥有行政许可107个。

来源：金融界